실리콘 태양전지;양성자빔;수소보호막;PERL 구조;

Si solar cell;Proton beam;passivation;PER;

... 23 3.1.6 수소 이온 주입으로 인한 시료의 PL 특성 변화... 24 3.1.7 수소 이온 주입된 태양전지의 발광 특성... 26 3.1.8 수소 이온 주입된 태양전지의 내부 양자효율... 27 3.1.9 전류-전압 특성... 27 3.1.10 실리콘 p-n 접합 밴드 다이어그램... 28 3.2절 도즈량 및 에너지 변화에 따른 수소 층 태양전지 특성분석... ...

Ⅳ 연구개발결과 본 연구에서는 태양전지에 수소 이온의 고 장벽층을 형성하여 태양전지 내부에 여기된 전자의 이동도를 증가시키고 태양전지의 표면에서 누설 전류를 막기 위한 보호막 형성 기술을 확보하기 위한 연구를 진행했다 수소 이온 주입은 수소 플라즈마를 이용하여 이온을 가속하는 기체이온 주입장치를 이용하여 태양전지 내부에 주입하였다 단일공정을 파악하기 위한...

In this work we investigated the proton beam passivated PERL silicon solar cell fabrication by introducing Hsupsup ion implantation in order to reduce the electron loss and increase the photocurrent c...