특허

相位檢測方法

2025 / 등록 / 특허 / 相位檢測方法 / (I898815) / 대만

사업명

2024 / 중소벤처기업부 / 창업성장기술개발
과제명

2420015106 / 프사이시스템(주) / 공간분할 PSI와 다채널 고속화를 활용한 Advanced Packaging 3D 전수검사용 초고속 광학 검사 시스템 개발
연구수행주체

중소기업
6T분류명

나노 측정기술(100 nm이하)
국가기술지도명

반도체·디스플레이 소재·부품·장비
과학기술표준분류

기하/파동 광학