과제정보
다기능 메타표면 제작 한계 돌파를 위한 메타표면 3차원 나노프린팅 연구 (3D nanoprinting to break through fabrication limit of multifunctional metasurfaces)
(2800000245) / 2024 / 우주국제협력기반조성(R&D) / 오동교 / 포항공과대학교
외부 링크-
- 기준년도
- 2024
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- 예산사업명
- 우주국제협력기반조성(R&D)
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- 연구책임자
- 오동교
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- 과제수행기관
- 포항공과대학교
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- 부처명
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- (당해년도)총연구비
- 10,000,000
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- (당해년도)정부투자연구비
- 10,000,000
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- 연구기간
- 2024-09-01 ~ 2025-08-31
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- 총 연구기간
- 2024-09-01 ~ 2025-08-31
키워드
3차원 나노프린팅,평면광학소자,기계나노공학,다기능 메타표면,고종횡비 나노구조
Keyword
3D nanoprinting,flat optics,mechanical nanoengineering,multifunctional metasurface,high-aspect-ratio nanostructure
연구내용
▶ 단계연구내용 1: 나노 구조의 외력 제어를 통한 거동 분석 및 공정 범위 탐구 - 메타표면이 점점 고집적화 및 고해상도를 요구하는 반면, 메타표면을 제작하는 데에 주로 사용되는 광자 또는 전자 기반의 리소그래피 공정들은 각 공정마다 일종의 회절 한계를 가지고 있어 현재의 수요를 만족시키는 데에 어려움이 있음. - 기존 반도체 공정의 한계 극복을 ...