과제정보
테라헤르츠 펌프 프로브 측정을 이용한 초박막 반강유전체 커패시터의 피코초 이내 스위칭 및 음의 전기용량 연구 (Unveiling sub-picosecond switching and negative capacitance in ultrathin antiferroelectric capacitors measured by terahertz pump-probe system)
(2710107216) / 2026 / 개인기초연구(과기정통부) / 박형렬 / 울산과학기술원
외부 링크-
- 기준년도
- 2026
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- 예산사업명
- 개인기초연구(과기정통부)
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- 연구책임자
- 박형렬
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- 과제수행기관
- 울산과학기술원
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- 부처명
- 과학기술정보통신부
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- (당해년도)총연구비
- 143,342,000
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- (당해년도)정부투자연구비
- 143,342,000
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- 연구기간
- 2026-05-01 ~ 2027-04-30
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- 총 연구기간
- 2024-05-01 ~ 2027-04-30
키워드
피코초 이내 스위칭,나노틈 구조물,하프늄 지르코늄 산화물,테라헤르츠 펌프 테라헤르츠 프루브 시스템,반강유전체 박막
Keyword
sub-picosecond switching,nanogap structure,Hafnium Zirconium Oxide,terahertz pump terahertz probe system,antiferroelectric thin film
연구내용
1차년도(2024): 나노미터 두께 반강유전체 박막 제작- 원자층 증착 방법을 이용한 1-2 nm 두께의 Hf_0.5Zr_0.5O_2(HZO) 반강유전체 박막 성장 및 XRR, GIXRD, TEM을 이용한 특성 관찰2차년도(2025): 인공지능을 활용한 나노 커패시터 최적화 및 반강유전체 박막과 결합한 시료 구현- 인공지능 역설계를 통한 나노 커패시터 디자...